螺杆真空泵用于化工、半导体等行业，可以清洁真空作用，去除大量水蒸气和灰尘。它由几个组件组成。主要结构将在下面介绍。
1.螺杆泵的排气温度非常高，因为没有内部压缩过程。如果冷却效果不好，转子和外壳会变形，影响泵送效果。
2.螺杆真空泵在密封和润滑方面类似于无油螺杆压缩机。一般在排气端采用机械密封，进气侧通常采用双唇密封。
3.机壳制冷是必不可少的环节，水冷是常用方法。冷水被引入壳体和轴承的外部，以达到冷却壳体和转子的目的。
4.该设备通过同步齿轮驱动从动转子旋转，壳体上设有冷却转子温度的冷水通道和排气口。同步齿轮和轴承用油润滑，轴承和外壳用密封件密封，达到无油的效果。
5.一对螺杆在泵壳内高速同步反向旋转，产生吸排气作用，其传动轴与驱动转子连接。传动方式采用直接连接电机，通过联轴器与转子连接，少数由皮带或传动链驱动。
螺杆真空泵是利用螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，为此它的结构质量要获得保证，有利于提高工作效率和延长使用寿命。
2024.5.7 ZG
